大家知道真空泵有很多種显沈，那么下面我們就是總結(jié)了一下全部的真空泵的種類积蜻。

一蠢正、變?nèi)菡婵毡?/p>

它是利用泵腔容積的周期變化來(lái)完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵骇笔。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種。

1笨触、往復(fù)式真空泵 ：利用泵腔內(nèi)活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)懦傍，將氣體吸入、壓縮并排出芦劣。又稱為活塞式真空泵粗俱。

2、旋轉(zhuǎn)式真空泵 ： 利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子部件的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)將氣體吸入虚吟、壓縮并排出寸认。它大致有如下幾種分類：

1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵內(nèi)各運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙，減少泵內(nèi)有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡蒙晕丁＿@種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置废麻。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵模庐、滑閥式真空泵烛愧、余擺線真空泵等。

2)液環(huán)真空泵 將帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)掂碱。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)怜姿，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菸艢馇惶墼铩９ぷ饕后w通常為水或油沧卢，所以亦稱為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵。

3)干式真空泵 它是一種泵內(nèi)不用油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡米碚摺Ｓ捎诟墒秸婵毡帽们粌?nèi)不需要工作液體但狭，因此，適用于半導(dǎo)體行業(yè)撬即、化學(xué)工業(yè)立磁、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無(wú)油清潔真空環(huán)境的工藝場(chǎng)合。

4)羅茨真空泵泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子剥槐。轉(zhuǎn)子間唱歧、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。

二粒竖、動(dòng)量傳輸泵

它依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流颅崩，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹谌锩纭＿@類泵可分為以下幾種形式：

1沿后、分子真空泵 ：它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度岁歉，從而被壓縮得运、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵膝蜈。這種泵具體可分為：

1)牽引分子泵氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口熔掺。

2)渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的饱搏。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

3)復(fù)合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子真空泵置逻。

按其工作原理推沸，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。

一券坞、氣體輸送泵包括：1鬓催、液環(huán)真空泵(水環(huán)式真空泵)2、往復(fù)式真空泵3恨锚、旋片式真空泵4宇驾、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6猴伶、余擺線真空泵7课舍、干式真空泵8、羅茨真空泵9他挎、分子真空泵10筝尾、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12办桨、水噴射真空泵13筹淫、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15呢撞、擴(kuò)散泵等损姜。